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  • 日本ULVAC爱发科高真空涡轮分子泵UTM-MS这是一款带有单独控制器的涡轮分子泵,使用磁轴承。我们有多种型号,抽气速度为300到4000升/秒。控制器单元可以监控运行状态,并支持各种通信标准。
  • 日本ULVAC爱发科高真空泵低温泵C10此产品是操作低温泵所必需的。 压缩氦气被送入冰箱,从冰箱返回的高温氦气被冷却并循环。
  • 日本ULVAC爱发科高真空泵低温泵CRYO-U8H“Model: CRYO-U8H" 是一种使用二级 GM 冷却器的低温泵,能够实现高真空抽气。
  • 日本ULVAC爱发科高真空泵低温泵CRYO-U4H“Model: CRYO-U4H" 是一种使用二级 GM 冷却器的低温泵,能够实现高真空泵送。 根据应用,包括 FPD、半导体、电子设备、光学和研发,提供从小型到大型的各种产品。
  • 日本ULVAC爱发科真空泵油SMR-100真空泵油SMR-100具有低粘度,即使在寒冷情况下也能良好启动
  • 日本ULVAC爱发科小型高真空泵系统VMR-050这是一个小型高真空泵系统,它将机械增压泵、油旋转真空泵和管道紧凑地统一在一起。 操作和维护检查都很方便,非常适合实验。
  • 日本ULVAC爱发科机械增压泵PMB-D藤田光学是一种广泛使用的机械增压泵,配备多电压电机(高效)。根据使用条件,可以使用风冷。表面处理和大气操作类型也可以作为选项选择。
  • 日本ULVAC爱发科容积式油旋转真空泵Gv200油旋转真空泵是一种容积式真空泵,它使用油来减少转子、定子和滑动叶片等部件之间的密封和死空间。它也被称为旋转泵。
  • 日本ULVAC爱发科摆动活干式真空泵DOP-40D往复式活塞式干式真空泵是一种通过连接到偏心旋转轴的活塞往复运动来输送气体的机械真空泵。
  • 日本ULVAC爱发科滚动式干真空泵DIS-252这是一个通过螺旋墙(旋转 scroll)的偏心运动来抽气的真空泵,它面对着固定螺旋墙(固定 scroll)。
  • 日本ULVAC爱发科多级罗茨式干式真空泵GR60低温分布的均匀性。在PVD工艺中,抽空LL腔的优化泵,缩短排气时间以提高吞吐量很重要功能。
  • 日本ULVAC爱发科多级罗茨式干式真空泵LR60低温分布的均匀性。在PVD工艺中,抽空LL腔的优化泵,缩短排气时间以提高吞吐量很重要。 功能
  • 日本ULVAC爱发科螺杆式干式真空泵LS120A型号:MS“ 是一种螺杆式干式真空泵。 耐腐蚀性和粉末排气性能得到了基于传统“LS 型号“的工艺阻力模型的提升。 该型号专为使用腐蚀气体和粉末排气的工艺设计。
  • 日本ULVAC爱发科螺杆式干式真空泵MS120A型号:MS“ 是一种螺杆式干式真空泵。 耐腐蚀性和粉末排气性能得到了基于传统“LS 型号“的工艺阻力模型的提升。 该型号专为使用腐蚀气体和粉末排气的工艺设计。
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