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日本ULVAC爱发科机械增压泵PMB-D藤田光学
日本ULVAC爱发科机械增压泵PMB-D藤田光学
功能
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根据使用条件,可能使用风冷运行。在200帕下连续运行。达到200帕的泵送时间需在10分钟内。
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可以选择多种电压电机(200V 级或多种电压)兼容通用电机,并且可选配备防爆电机。兼容高效调节(IE2/GB3/EPAct)。
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的耐腐蚀表面处理(可选:T型) 高表面硬度和的耐腐蚀性。所有主要部件的表面都经过阳极氧化涂层处理,以提供的耐腐蚀性和表面刚性。这可以抑制泵内部的刮擦和腐蚀。
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大气压力启动类型有效于缩短抽水时间(选项:变频器)因为泵可以与粗泵同时启动,与标准类型相比,抽水时间可以更短。
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国际标准适用于西方市场(符合CE和cTUVus)
应用程序
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蒸发、溅射、离子镀膜
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真空干燥,冷冻干燥,真空脱气,分析仪器,泄漏测试系统
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气体交换,充气,真空绝热,热处理,熔炉
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其他各种真空系统
规格
| 模型 *1 |
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PMB100D | PMB300D | PMB600D | PMB1200D | PMB2400D | ||
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*大 泵送 速度 |
50 赫兹 |
95 立方米/小时 (1,580 升/分钟) |
280 立方米/小时 (4,670 升/分钟) |
500 立方米/小时 (8,330 升/分钟) |
1,000 立方米/小时 (16,667 升/分钟) |
2,000 立方米/小时 (33330 升/分钟) |
2,500 立方米/小时 (41,667 升/分钟) |
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60 赫兹 |
115 (1,920) | 330(5,500) | 600(10,000) | 1200(20,000) | 2,400(40,000) | 3,100(51,667) | ||
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*大 吸气 压力 |
50 赫兹 |
9.3×103 帕斯卡 | 1.2×103 帕斯卡 | 1.3×103 帕斯卡 | 2.0×103/8.0×102 帕 | |||
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60 赫兹 |
6.2×103 帕斯卡 | 9.3×102 帕斯卡 | 1.1×103 帕斯卡 | 1.5×103/6.7×102 帕斯卡 | ||||
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*大 允许 差压 |
50 赫兹 |
8.0×103 帕斯卡 | 4.0×103 帕斯卡 | 7.3×103 帕斯卡 | 3.5×103/4.7×103 帕斯卡 | |||
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60 赫兹 |
5.6×103 帕斯卡 | 3.3×103 帕斯卡 | 6.0×103 帕斯卡 | 3.0×103/4.7×103 帕斯卡 | ||||
| 压力 *2 | 4.0×10-1 帕 | 6.7×10-1 帕 | ||||||
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允许 驱动压力 |
- 1.0×105 帕(大气压力启动类型) | |||||||
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电机 *3 |
电力 |
0.4千瓦 (2极) |
0.75千瓦 (2极) |
2.2千瓦 (2极) |
3.7千瓦 (2极) |
7.5 千瓦 (2 极) |
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200V 等级 |
50 赫兹 |
200 伏 | ー | |||||
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60 赫兹 |
200 V/220 V | ー | ||||||
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多 电压 |
50 赫兹 |
220 - 240 V / 380 - 415 V | 200 - 240 V/380 - 415 V | |||||
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60 赫兹 |
208 - 240 V/ 380 - 460 V | 200 - 240 V/380 - 460 V | ||||||
| 石油 *4 | SMR-100 | |||||||
| 油量 | 0.35 升 | 0.7 升 | 1.5 升 | 1.9 升 | 4 升 | |||
| 冷却方法 *5 | 风冷 | 风冷/水冷 | ||||||
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冷却 水 |
一次 侧压力 |
ー | 0.3 兆帕 | |||||
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入口/出口 差压 压力 |
ー | 0.05 兆帕 | ||||||
| 音量 | ー | 2 升/分钟 | 3 升/分钟 | |||||
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水 温度 *6 |
ー | 5 - 30 ℃ | ||||||
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入口连接 JIS-B-2290 |
VG50 等效 |
VG80 相当于 |
VG100 等效 |
VG200 等效 | ||||
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出风口连接 JIS-B-2290 |
VF50 等效 |
VF80相当 | VF200相当 | |||||
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尺寸 宽×深×高 *7 |
267×576× 180 毫米 |
321×685× 260 毫米 |
362×784× 320 毫米 |
417×970× 340 毫米 |
520×1260×460 毫米 | |||
| 重量 | 26 公斤 | 51 公斤 | 82 公斤 | 115 公斤 | 260 公斤 | |||
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标准 粗泵 |
VD401 | VD601 | VD901 | VS2401 | PKS-070B | VS650B | ||
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适用 标准 |
CE, cTUVus |
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| 选项 |
表面处理,适配法兰,防爆电机, 大气压力启动类型(变频器), 润滑油,润滑腔排气口, 水平排气方向类型(**PMB2400D) |
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大气压力 开始类型 变频器 规格/电压 |
I2,A2/200V - 240V(50Hz/60Hz)200V 级 | |||||||
| I4,A4/380V - 480V(50Hz/60Hz)400V 级 | ||||||||
注意)本规格使用国际单位制(SI)的测量单位。转换为非SI单位如下:
4.0 x 10-1Pa = 3.0 × 10-3 Torr
*1 标准型号为无表面处理(阳极氧化涂层)。
可选地,带有表面处理的型号可以进行选择。
*2 使用标准背压泵和标准真空油由Pirani真空计测量。
(使用McLeod真空计测量时约为4.0×10-2 Pa)
*3 仅PMB100D可以选配200V类电机或多种电压。
防爆电机不提供多种电压选择。
*4 空气冷却规格的机油是SMR-200。机油选项:可选,矿物油(SMR-200),
氟油(J25F)类型可以进行选择。
*5 通过选择变频安装型号,将能够操作整个压力范围。
订购变频规格时,指定空气冷却或水冷却规格。
空气冷却无法使用水冷却变频器驱动。
对于PMB600D、1200D和2400D,在压力范围为
300 Pa至4,000 Pa的连续操作超过1小时可能会损坏泵。
在这种情况下,选择水冷却类型。
*6 在无冷凝的环境中使用。
*7 对于其他尺寸,请访问ULVAC网站并参考发布的CAD数据。



