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日本ULVAC爱发科螺杆式干式真空泵LS120A
日本ULVAC爱发科螺杆式干式真空泵LS120A
功能
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'高抽气速度
在接近大气压下具有高抽气速度,且抽气时间可以大幅缩短 -
低功耗
ECO-SHOCK 技术实现低功耗。(C 型)
在极限压力下的功耗是行业的0.6kW或更低。(LS120A-C) -
内置消音器使噪音水平达到61分贝(A)或更低。
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运行成本低
无轴封气体。
*L型可提供吹扫气体。 -
泵送速度120 - 1200立方米/小时 类型 *带机械增压泵
型号可根据应用选择
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应用程序
C 型 : 清洗工艺 (LS***A-C)
特点 : 低功耗型号 (带内置ECO-SHOCK)
应用 : 用于清洗工艺如空气和N2 G14溅射/蒸镀/
层压/加载锁室/TMP背压泵等。
L 型 : 轻型流程 (LS***A-L)
特点 : 轻型流程型号 (带表面处理和吹扫功能)
应用 : 用于蒸汽和挥发性液体药品/真空干燥/
冷冻干燥/灰化/一般工业用途等。
规格
| 模型 |
(C:C 型) (L:L 型) |
LS120A | LS300A | LS600A | LS1200A | |||||
| 输入:C | 输入: L | 输入:C | 输入: L | 输入:C | 输入: L | 输入:C | 输入: L | |||
| 泵速 | 米3/小时 | 120 | 380 | 600 | 1000 | |||||
| 压力 | 帕 | ≤0.6 | ≤0.1 | |||||||
| 电源 | 200V 等级:三相,50/60Hz,AC200-240V 或 400V 等级:三相,50/60Hz,AC380-480V | |||||||||
| 功耗 *1 | 千瓦 | 0.6 | 2.0 | 1.0 | 2.5 | 1.3 | 2.6 | 1.3 | 2.7 | |
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冷却水 流量 |
升/分钟 | >2.0 | >4.0 | |||||||
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置换气体流量 *2 |
选择性激光熔化 | 输入:‐ | 0 - 50 | 输入:‐ | 0 - 50 | 输入:‐ | 0 - 50 | 输入:‐ | 0 - 50 | |
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水汽 容忍度 *3 |
千克/小时 | 输入:‐ | 1.5 | 输入:‐ | 1.5 | 输入:‐ | 1.5 | 输入:‐ | 1.5 | |
| 噪音 *1 | dB(A) | 61 | 61 | 62 | 64 | |||||
| 入口端口 |
入口端口 KF50(水平)/ VG50(垂直) |
ISO-F-50 | ISO-F-80 | ISO-F-100 | ||||||
| 出口端口 | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | ||||||
| 重量 | 千克 | 142 | 220 | 242 | 266 | |||||
| 适用标准 | CE, cTUVus | |||||||||
| 标准配件 | 电源连接器,防水电缆夹,遥控连接器,电源连接器护罩 | |||||||||
| 泵头选项 | 电源:200V 级或 400V 级,密封材料:FFKM( L 型) | |||||||||
| 外部选项 |
MBP入口法兰适配器,包装排气口,防震支架,LR兼容 装置(入口,远程),吹扫气阀 |
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*1: 在极限压力下(仅供参考)
*2: C型没有净化气体。
*3: 水蒸气耐受值是使用净化气体时的值。
注意)C型不是无泄漏的。
泵速曲线
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尺寸图









