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视觉检测/UV固化光源、液体自动化控制设备、防静电系统/部品、进口环境检测仪、工业测量仪器仪表
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产品详情
简单介绍：
日本ULVAC爱发科多级罗茨式干式真空泵GR60低温分布的均匀性。在PVD工艺中，抽空LL腔的优化泵，缩短排气时间以提高吞吐量很重要功能。
详情介绍：
日本ULVAC爱发科多级罗茨式干式真空泵GR60
日本ULVAC爱发科多级罗茨式干式真空泵GR60
功能
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特别适用于高负荷应用，例如在大气压和真空中反复抽气以及在高压范围内连续运行。
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适用于需要高吞吐量的装货/卸货锁斗。
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使用通用感应电动机。防爆电动机可选。
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应用多电压电机
应用程序
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清洁气体真空泵如空气、惰性气体。
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装卸各种沉积设备的锁止腔。
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通用工业应用，如真空干燥机、真空热绝缘中的真空气体交换和充气、真空脱气等。
规格
| 模型 | GR60A | GR90A | GR180A | |||||
|
*大泵送 速度 |
50赫兹 | 米3/小时(升/分钟) | 62（1030） | 112（1860） | 183（3100） | |||
| 60赫兹 | 米3/小时(升/分钟) | 80（1333） | 126（2100） | 237（3850） | ||||
| 压力 *1 | 帕 | 5.0 | ||||||
| *大入口压力 | 大气压力 | |||||||
| *大排气压力 | 帕 | 1.0 大气压 | ||||||
| 入口端口 | VG50 | VG80 | ||||||
| 出口端口 | NW40 | |||||||
| 表面处理 | 〇 | |||||||
| 发动机 | 输出 [千瓦] | 2.2 | 3.7 | 7.5 | ||||
| 电压 [V] | 50赫兹 | 200 - 240/380 - 415 | ||||||
| 60赫兹 | 200 - 240/380 - 460 | |||||||
| 重量 | 千克 | 128 | 188 | 268 | ||||
| 冷却水 |
供应 压力 |
兆帕 | 0.1 - 0.3 | |||||
|
输入/输出差异 压力 |
兆帕 | >0.1 | ||||||
| 温度 | ℃ | 10 - 30 *2 | ||||||
| 流量 | 升/分钟 | >5.0 | ||||||
| 氮2 |
一次侧 供应 压力 |
兆帕 | 0.1 - 0.5 | |||||
|
次级侧 调节 压力 *3 |
兆帕 | 0.05 到 0.1（运行时） | ||||||
| 轴 | 选择性激光熔化 | 5.0 * 4 | ||||||
*1 *终压力是在氮气（轴封气）流量为5.0SLM时的值。
*2 非冷凝。
*3 压力表上的值通过气体调节器调整。
*4 氮气（轴封气）的流量固定为5.0SLM。
配件
| 模型 | 材料 |
表面 处理 |
重量 (千克) |
法兰 连接 |
GR60A | GR90A | GR180A | |
| 消音器 |
RS-01+ 套件A |
SUS304 |
GBB ** |
4.1 | KF40 | 〇 | 〇 | 输入：- |
|
RS-01+ 套件 C |
SUS304 |
GBB ** |
8.3 | KF40 | 输入：- | 输入：- | 〇 | |
泵速曲线
尺寸图
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