Name: 日本ULVAC爱发科多级罗茨式真空泵LR60
Brand: 日本ULVAC爱发科

主营：

视觉检测/UV固化光源、液体自动化控制设备、防静电系统/部品、进口环境检测仪、工业测量仪器仪表

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产品名称：日本ULVAC爱发科多级罗茨式真空泵LR60
产品型号：
产品厂商：日本ULVAC爱发科
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简单介绍：

日本ULVAC爱发科多级罗茨式干式真空泵LR60低温分布的均匀性。在PVD工艺中，抽空LL腔的优化泵，缩短排气时间以提高吞吐量很重要。功能

详情介绍：

日本ULVAC爱发科多级罗茨式干式真空泵LR60

功能

'低温泵（型号:LR）
'该“型号:LR"泵旨在缩短用于负载锁、PVD过程等的抽气时间。
氦气抽气能力
canned motor 保证**和维护方便
断电保护
泵在断电持续时间长达500毫秒的情况下能够承受。
耐腐蚀气体性能（型号：HR/UR）
内部组件经过特殊处理，提供高度的表面硬度和耐腐蚀性。这防止了在暴露于腐蚀性气体时内部泵部件的磨损和腐蚀。
通信功能
泵数据包括警告和警报能够导出。广泛的泵控制功能可用。

应用程序

溅射设备、蒸镀设备等。
缩短负载锁室的抽气时间
涡轮分子泵和机械增压泵的备用泵

规格

模型		LR60	LR90	LR180	LR421	LR421-T
泵速度	50赫兹	62 米3/小时 (1030 升/分钟)	112 米3/小时 (1860 升/分钟)	183 米3/小时 (3100 升/分钟)	440 米3/小时 (7333 升/分钟)	440 米3/小时 (7333 升/分钟)
	60赫兹	80 米3/小时 (1333 升/分钟)	126 米3/小时 (2100 升/分钟)	237 米3/小时 (3950 升/分钟)
压力		5.0 帕
入口压力		大气压力
排气压力		1.0 大气压毫巴
入口直径（CE 型）		VG50(KF50)	VG80(KF50)		VG100
出口直径		KF40			VG50
重量		180 公斤	245 公斤	335 公斤	415 公斤
力量 *1	三相	200 伏交流电（50/60 赫兹），220 伏交流电（60 赫兹）			180 - 240 VAC/380 - 440 VAC(50/60 Hz)
当前	在极限压力	6.9 安 (在 200V)	11.2 安培 (在200伏)	18.9 安培 (在200伏)	20.8 安培 (在200伏)
	负载	7.3 A （在200V）	11.8 安培 (在200伏)	20.6 安培 (在200伏)	48.5 安培 (在200伏)
冷却水供应压力		0.1 - 0.3 兆帕			0.2 - 0.5 兆帕
冷却水入口/出口压力差		>0.1 MPa			>0.2 MPa
冷却水流量		>5.0 升/分钟			>4.0 升/分钟
氮气	供应压力	0.1 - 0.5 兆帕
	规则- 调节压力	0.05 - 0.1 兆帕
N2 排气	轴封净化	5 SLM
	气体压载	0 - 45 SLM			无	0 - 45 SLM

*1: 请在订购时指明电压。

模型		LR300	LR600	LR1200	LR1800	LR3601	LR3601-T (TT)	LR3601-R	LR3601- TR (TTR)
泵	****计划	LR60	LR90	LR90	LR180	LR421	LR421-T	LR421	LR421-T
	MBP	PRC-03A	PRC-06A	PRC-012A	PRC-018A	PRC-036C	PRC-036C (-T)	PRC-036D	PRC-036D (D-T)
泵送速度	50赫兹	359 米3/小时 (5,980 升/分钟)	653 米3/小时 (10,900 升/分钟)	1,012 米3/小时 (16,900 升/分钟)	1,701 米3/小时 (28,350 升/分钟)	3,200 米3/小时 (53,333 升/分钟)
	60赫兹	365米3/小时 (6,080 升/分钟)	701米3/小时 (11,700 升/分钟)	1,051米3/小时 (17,500 升/分钟)	1,784米3/小时 (29,700 升/分钟)
压力		0.67 帕
入口压力		大气压力
排气压力		1.0 大气压毫巴
入口直径 (类型 CE)		VG80 (KF80)		VG100 (KF100)	VG150 (KF100)	VG150
出口直径		KF40				KF50
表面处理的MBP		〇 *1	〇 *1	〇 *1	〇 *1	×	电话:× 传真:×	×	总阅读量:× 今日阅读量:〇
重量		275 公斤	370 公斤	420 公斤	545 公斤	660 公斤	720千克	660 公斤	720千克
力量 *2	三相	200 伏交流电（50/60 赫兹），220 伏交流电（60 赫兹）				180 - 240/380 - 440（50/60）
当前	在 *终压力	7.0 安培 (在200伏)	12.3 安培（在200伏）	13.7 安培 (在200伏)	21.4 安培 (在200伏)	31.0 A（在200V时） 20.5 A（在400V时）		35.4 安(在200V) 20.5 安(在400V)
	在负载	9.6 安培 (在200伏)	19.0 A (在200V)	24.2 安培 (在200伏)	39.8 安 (在 200V)	58.4 安(在200V) 40.5 安(在400V)		82.0 安(在200V) 40.5 安(在400V)
冷却水供应压力		0.1 - 0.3 兆帕				0.2 - 0.5 兆帕
冷却水入口/出口压力差		>0.1 MPa		0.1 - 0.3 兆帕		0.2 - 0.5 兆帕
冷却水流量		>5.0 升/分钟				>4.0 升/分钟
氮气	供应压力	0.1 - 0.5 兆帕
	规则- 调节压力	0.05 - 0.1 兆帕
N2 **	轴排气	5 SLM
	气体球ast	0 - 45 SLM				无 *3	0 - 45 SLM	无 *3	0 - 45 SLM