主营：
视觉检测/UV固化光源、液体自动化控制设备、防静电系统/部品、进口环境检测仪、工业测量仪器仪表
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产品详情
简单介绍：
日本ULVAC爱发科螺杆式干式真空泵MS120A型号:MS“ 是一种螺杆式干式真空泵。
耐腐蚀性和粉末排气性能得到了基于传统“LS 型号“的工艺阻力模型的提升。
该型号专为使用腐蚀气体和粉末排气的工艺设计。
详情介绍：
日本ULVAC爱发科螺杆式干式真空泵MS120A
日本ULVAC爱发科螺杆式干式真空泵MS120A
功能
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对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理以提高耐腐蚀性
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通过应用ULVAC独特的设计转子轴，粉末排气表现出高性能。
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实现近常压连续抽气
应用程序
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半导体和电子设备制造设备的真空系统
刻蚀、清洗、等离子体清洁等 -
炉用真空系统
烧结、渗碳等 -
锂离子电池制造设备的真空系统
电极干燥、脱气、真空注入等 -
医疗和食品的真空系统
冷冻干燥、真空干燥等
＊MS1200A 可以单独提供，带有额外的控制板和传感器。请联系我们了解详情。
规格
| 模型 | MS120A | MS600A | MS1200A | |
| 泵速 *1 | 米3/小时 | 115 | 560 | 980 |
| 压力 | 帕 | ≤0.6 | ≤0.1 | |
| 电源 | 200V 等级：三相，50/60Hz，AC200-240V±10% 或 400V 等级：三相，50/60Hz，AC380-480V±10% | |||
| 功耗 *2 | 千瓦 | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷却水流量 | 升/分钟 | >4.0 | ||
| 置换气体流量 *1 | 选择性激光熔化 | 0 - 50 | ||
| 水汽耐受性 *1*3 | 千克/小时 | 1.5 | ||
| 噪音 *2 | 分贝（A） | 61 | 62 | 64 |
| 入口端口 | KF50(水平) / VG50(垂直) | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |
| 输出端口 | KF40 | |||
| 重量 *4 | 千克 | 139 | 241 | 264 |
| 适用标准 | CE, cTUVus | |||
| 标准配件 | 快速手册，电源连接器，防水电缆夹，遥控连接器，电源连接器护罩，消音器 | |||
| 泵头选项 |
电源：200V 级或 400V 级 密封材料：FKM 或 FFKM |
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| 外部选项 | 包装排气口，防震支架，LR兼容装置（入口，遥控），吹扫气体阀 | |||
*1：参考值
*2：在极限压力下（仅作参考）
*3：水蒸气耐受值是在使用吹扫气体时的值。
*4：包括消音器
泵速曲线
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尺寸图
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