Name: 日本ULVAC爱发科热阴极真空计SH200-A
Brand: 日本ULVAC爱发科

主营：

视觉检测/UV固化光源、液体自动化控制设备、防静电系统/部品、进口环境检测仪、工业测量仪器仪表

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产品名称：日本ULVAC爱发科热阴极真空计SH200-A
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产品厂商：日本ULVAC爱发科
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简单介绍：

日本ULVAC爱发科热阴极真空计SH200-A新型号的传感器类型 “G-TRAN 多离子电离计“，能够连接到不同类型的传感器头。型号：ST200-A / R / E 新型号的传感器类型 “G-TRAN 多离子电离计“，能够连接到不同类型的传感器头。

详情介绍：

日本ULVAC爱发科热阴极真空计SH200-A

日本ULVAC爱发科热阴极真空计SH200-A

日本ULVAC爱发科热阴极真空计SH200-A

功能

ULVAC 自有概念：可根据应用连接不同测量范围的传感器头。
紧凑：与前一型号相比显著减小（控制器体积减少56%）。世界紧凑的类别。
高可用性：通过连接PC/Android进行设定点设置、条件检查等。
更**的选择：除了模拟输出规格和串行通信规格外，还将提供EtherCAT规格。
灯丝寿命通知功能：通过观察灯丝电源，可以在离子化真空计的寿命到期前发出警告。
广泛的测量范围：测量范围从大气压到超高真空（1 x 10+5到5 x 10-8Pa）是可能的（当与可选单元SWU10-R一起使用时）。
**的大气压力感应：在使用可选单元SAU时，可以进行腔室开启的大气压力检查。

应用程序

在高真空范围内对半导体或电子设备的真空设备进行过程控制。
对具有多个工艺腔的在线或批次型真空设备进行压力检查。
高真空或超高真空设备的压力测量。

规格

模型		SH200-A	SH200-R	ST200-E （计划发布）
类型		模拟输出类型	串行通信类型	EtherCAT 通信类型
适用的电离测量传感器头		M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070)
可连接传感器		多电离真空计 SH200: 1 皮拉尼真空计传感器单元 SWU10-R: 1 (可选) 压力传感器单元 SAU: 1 (可选)
重复性 (N2)		SH200 简单模式：±2％
采样时间		60 毫秒，5次移动平均
值输出		输出电压：0到10 VDC，LOG输出：0.75 V/1 decade 压力转换方程：V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
更新时间		60毫秒
控制输入信号		FIL 开/关、FIL 1/2、DEGAS 开/关使用开漏输入，负逻辑	输入：-	输入：-
控制输出信号		传感器错误，设定点1/2/3，排放有效灯丝电力表额定电压：24V大、50mA大饱和电压：1V	输入：-	输入：-
通信类型		输入：-	RS232C/RS-485	以太网控制自动化技术
LED 显示屏		电源：电源，错误指示灯（根据每个模式闪烁模式和颜色变化）
发射电流		1毫安 (1×10-3帕或更低)， 10微安 (1×10-3帕或更高)
德加方法		电子束类型 1mA, 330V
传感器*大压力		2×10+5Pa (1.5 x 10+3 毫托, 2 x 10+3 毫巴) (**压力) ＊需要单独的措施来承受压力，例如法兰和夹具
传感器的内部体积		17厘米3(M-44), 19厘米3(M-45), 17厘米3(M-46)
工作温度范围		10到50℃（50到122？）
操作湿度范围		15到80%（不冷凝）
储存温度		-20至65℃（-4至149？）（在非通电、不冷凝情况下）
IP等级		IP30
电源电压		DC20至28V（纹波、噪声1%或更少）低于8W
输入/输出连接器		D-sub15-pin (M2.6 螺丝)
重量		传感器单元：约280克，传感器头（M-44/45）：80克，（M-46）：300克
尺寸 W x D x H		69毫米×63毫米×90毫米（仅感光元件单元）
适用标准		欧洲共同市场
选项	多电离探测器传感器头	M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070) 气体接触部分的材料：灯丝1, 2 -Ir/Y2O3 其他：PtC-Mo, SUS304, W, Kovar 玻璃， Kovar/Ni 镀层
	皮拉尼真空计	SWU10-R *旧型号SPU也提供
	皮拉尼真空计传感器头	SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 管端), SWP-P15(Φ15 管端), SWP-CF16(ICF034) 接触气体部分的材料：线圈-铂，其他-BS/Ni 镀层，镍，焊料
	压力开关	SAU(NW16) 气体接触部分的材料：SUS316L
	单位电缆	GUC-200P (适用于SWU10-R) ：0.5米, 1米, 2米 GUC-200A (适用于SAU) ：0.5米, 1米, 2米
	显示装置	1CH：ISG1（直流24伏）
	显示电缆	SH200和desiplay unit之间的电缆 2米，5米，10米，15米，20米，25米，30米，35米，40米
	连接器	I/O连接器 (D-sub15-插座（M2.6mm 螺丝))
	其他	测试证书，校准证书

“Model:SH200" 有三种选项；简单模式，带有离子室；组合模式，带有离子室和皮拉尼计（SWU10-R）；三重组合模式，带有离子室、皮拉尼计（SWU10-R）和压力开关（SAU）。

模式	SH200-A/SH200-R/SH200-E 简单模式	SH200-A/SH200-R/SH200-E ＋SWU10-R 组合模式	SH200-A/SH200-R/SH200-E ＋SWU10-R＋SAU 三重组合模式
可测量的压力范围	5.0×10-8 到 1.0×10+1帕	5.0×10-8 至 1.0×10+5帕	5.0×10-8 到 1.0×10+5帕
准确性	5.0×10-8 至 1.0×10+1帕： ±15%	5.0×10-8 至 1.0×10-1Pa：±15% 4.0×10-1 至 3.0×10+0Pa：±10‐±15% 3.0×10+0 至 1.0×10+4Pa：±10% 1.0×10+4 至 1.0×10+5Pa：±20%	5.0×10-8 到 4.0×10-1 Pa：±15% 4.0×10-1 到 3.0×10-1 Pa：±10‐±15% 3.0×10+0 到 1.0×10+4 Pa：±10% 1.0×10+4 到 3.0×10+5 Pa：±3%F.S.(3.0×10+3 Pa･基准温度: 25℃)
连接图像
可测量的压力范围图像	三重组合可以在需要“大气压力"检查以打开腔室时使用。