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  • 产品名称：日本otsuka大塚电子分光干涉式晶圆膜厚仪SF-3

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  • 产品厂商：日本otsuka大塚电子
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即时检测 WAFER基板于研磨制程中的膜厚 玻璃基板于减薄制程中的厚度变化 (强酸环境中) 产品特色 非接触式、非破坏性光学式膜厚检测 采用分光干涉法实现高度检测再现性 可进行高速
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