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视觉检测/UV固化光源、液体自动化控制设备、防静电系统/部品、进口环境检测仪、工业测量仪器仪表
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产品详情
产品名称：美国AXOMETRICS艾克松 / Imaging Spectroscopic Ellipsometer影像式椭圆仪
- 产品型号：ISR-1/EllipsoStep
- 产品厂商：美国Axometrics艾克松
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AxoScan and AxoStep - 新簡報(CN)
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简单介绍：
共同特色:
使用旋转式PSCA系统搭配16位CCD相机
同一时间量测影像中的每一点位
每波长仅2.4秒
波长范围介于 250至1,000nm间
可选择欲使用镜头倍率
特点：
小区域的在线扫描
薄膜厚度的2D影像
详情介绍：
设备介绍
影像式椭圆仪：
Axometrics的影像式椭圆仪分为基础(ISR-1)与进阶版(EllipsoStep)，解决光谱椭偏仪的量测限制，将光谱椭偏仪与显微镜结合。
| ISR-1 | EllipsoStep | |
| Lower system cost | ✓ | |
| 使用程度 | 简易 | 进阶 |
| 同时对焦FOV下的全景像 | ✓ | |
| *小量测膜厚区域 | 1 μm x 1 μm | 1 μm x 1 μm |
| 已知折射率的简易膜层量测 | ✓ | ✓ |
| 未知折射率的膜层量测 | ✓ | |
| 多层结构量测 | ✓ | |
| 20 nm – 10,000 nm厚度的膜层量测 | ✓ | ✓ |
| 极薄膜量测（0 nm – 20 nm） | ✓ | |
| NK 值量测 | ✓ | |
| Focus Stage | 手动 | 自动 |
| 震动要求等级 | VC-B | VC-A |
共同特色:
- 使用旋转式PSCA系统搭配16位CCD相机
- 同一时间量测影像中的每一点位
- 每波长仅2.4秒
- 波长范围介于 250至1,000nm间
- 可选择欲使用镜头倍率
特点：
- 小区域的在线扫描
- 薄膜厚度的2D影像
应用：
影像式椭圆仪用于检测制造半导体(semiconductors)、有机发光二极管(OLED)、发光二极管(LED)、液晶显示器(LCD)、触摸屏(touchscreens)、太阳能电池(solar cells)的薄膜，包含：
- 硅Silicon (a-Si, p-Si)
- 二氧化硅SiO2
- 氮化硅SiNx
- 有机薄膜Organic layers
光学分辨率将依所选择的镜头倍率而改变，使用者可依量测需求来选择。
在镜头成像下的范围内，可自由选择区块进行分析。
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