用于非接触式晶圆传送的伯努利卡盘 BC 系列的特点
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主体可选择20度、45度、90度三种手柄角度，水平使用的BC-K系列兼容2英寸至12英寸尺寸。
（使用角度为固定角度，不更换主机就无法改变使用角度。）
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导向挡块具有轻微的锥度，因此它与晶圆边缘有一点接触。
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由抗静电聚碳酸酯制成的导向环可以目视定位并确认吸力状态。
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主体采用导电尼龙树脂制成，以减轻重量。
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它的两面都印有图案，可以处理难以处理的 50 µm 薄晶圆。
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我们还接受定制设计的产品，例如适合目标物体的矩形形状。
由于伯努利卡盘使用高压，出于考虑，我们建议您将按钮朝下使用。（请参阅左图。）
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材料
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主体：导电 MC 尼龙
导向环：抗静电聚碳酸酯
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配件
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导电管6×4（1.5m）
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使用角度
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20°/45°/90°
