扫码添加微信
可显示从 ppm 级到 100% 的多种浓度。
适合安装在半导体制造设备、真空设备等上。
直插式传感器（真空NW法兰16/25/40）
高耐用传感器采用特殊涂层，进一步提高耐用性
MS-500设备规格
测量原理
氧化锆浓差电池类型
形状
分体式（传感器：壁挂式、传感器：直插式）
显示方式
数字4位显示（浓度显示）
测量范围
0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O 2 10 -20 ~10 -0 atm
自动量程
重复性
±0.5%FS 0-1% 量程或更高
，以及 ±1%FS 或 ±0.1ppm（以较大者为准） 小于 0-1% 量程
0-1ppm，atm 范围超出保证浓度范围
测量点数
1-8
样气条件
压力
10 -3 ~200KPa（绝压）
流量
0.5至5,000mL/min或0mL/min（自然扩散状态的测量）
湿度
露点低于环境温度
温度
0～100℃
其他的
不含腐蚀性气体（氟气、氯气、硫化物气体等）、含有机硅的气体、可燃性成分（包括瓦斯）、油类、水分。
比较气体
气氛
录音机输出
仅传输输出
变速输出
RS-232C
报警输出
没有任何
热身时间
6分钟内
尺寸
MS-500（控制器）
92（宽）×44（高）×120（深）（不含突出部分）
MS-510（转换器）
100（宽）×40（高）×88（深）（不含突出部分）
传感器单元
SD16NW
总长100mm（传感部分Φ11×39、本体部分Φ40×51）
SD25NW
总长100mm（传感部分Φ11×42、本体部分Φ40×48）
SD40NW
总长100mm（传感部分Φ11×41、本体部分Φ40×49）
大量的
MS-500（控制器）
约0.6公斤
MS-510（转换器）
约0.5公斤
传感器单元
SD16NW
约0.2公斤
SD25NW
约0.2公斤
SD40NW
约0.35公斤
外部连接
任一真空法兰（NW16、25、40）
使用电源
24VDC±10%