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  • 产品名称:日本ULVAC爱发科气体分析仪Qulee BGM2-101

  • 产品型号:
  • 产品厂商:日本ULVAC爱发科
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简单介绍:
日本ULVAC爱发科气体分析仪Qulee BGM2-101“Qulee“(发音为“KLEE“),是ULVAC*新的残余气体分析型号。来自各个生产线的设施工程师反馈被纳入了新产品设计,提供简便性。
详情介绍:

日本ULVAC爱发科气体分析仪Qulee BGM2-101

日本ULVAC爱发科气体分析仪Qulee BGM2-101

日本ULVAC爱发科气体分析仪Qulee BGM2-101

功能

适用于RGA应用

  • 通信接口
    以太网兼容

  • 一体化显示屏
    无需电脑

  • 简单操作
    “一键"功能

    烘焙
    *高120℃ (248°F) 高温烘焙 (250℃ (482°F) 当传感器被移除时)

  • 脱气功能
    电子轰击脱气

  • 保护和维护功能
    离子源和二次电子倍增器保护维护帮助功能

  • 提供各种泄漏测试
    氦气泄漏测试、空气泄漏测试、泄漏检测

  • 总压测量
    具备总压测量能力

  • Qulee QCS 包含在内
    此软件包含在内并兼容 (Windows 8/10/11)

  • 适用标准
    符合CE

应用程序

  • 有机电致发光的残余气体分析

  • 光伏、平板显示器和半导体制造系统的残余气体监测

  • PVD系统和真空镀膜中的残余气体分析

  • 高真空泵设备的残余气体分析等。

  • 冻干系统残余气体分析

  • 各种类型气体分析用于研发

规格

分辨率 M/△M=1M(10% P.H.)

模型 BGM2-101 BGM2-201 BGM2-102 BGM2-202
质量过滤器类型 四极矩
质量范围 1~100 道 1~200 道尔顿 1~100 道 1~200 道尔顿
探测器类型 法拉第杯 电磁管
法拉第杯
敏感度 10-7**压力 / 毫米汞柱 4A / 毫巴
1.3×10-5安培 / 托 533A / 托尔
7.5×10-6安培 / 毫巴 400A / 毫巴
可检测分压 约10-8 约10-12
大约7.5.10-11 约10-15
约1×10-10毫巴 约1×10-14毫巴
*大工作压力 1x10-2
总压力函数 7.5×10-5 涡轮
1.3×10-4毫巴
一键功能 能够 / 他 / H2氧 / N/ 氧/ 任何气体
一键
泄漏测试功能
有能力的
输入功率 DC24V±10% 50W
*大传感器
工作温度
120℃ (248°F )
*高烘烤
温度(电子元件已移除)
250℃ (482 °F )
工作温度范围 10到40℃ (50到104 °F)
软件 Qulee QCS 版本 4.2 及以后 (Windows 8/10/11)
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