扫码添加微信
一、产品概述
海克斯康HEXAGON XPERT系列是专为计量实验室和制造领域研发的超高精度三坐标测量机，代表了当代坐标测量技术的超高水平。该产品基于ISO 10360-8国际标准开发，通过德国PTB认证，能够满足VDI/VDE 2617*高精度等级要求，是精密制造领域计的量基准设备。
二、核心技术架构
-
精密机械系统
-
采用天然花岗岩基座与精密陶瓷导轨组合，热膨胀系数低至0.8×10⁻⁶/K
-
ULTRA-DAMP静音减震机构，可将环境振动影响降低90%以上
-
纳米级分辨率光栅系统，分辨率达0.001μm，重复定位精度优于0.3μm
-
智能控制系统
-
CERTO-ULTRA多核并行控制系统，采样频率高达1000Hz
-
自适应温度补偿算法，实时修正环境温度变化带来的测量误差
-
智能碰撞防护系统，可检测0.1N级别的异常接触力
-
测量软件平台
-
标配METROSOFT Ultra专业计量软件，支持PMI全尺寸自动评价
-
内置132种国际/行业标准评价规范数据库
-
支持点云数据处理与CAD数模对比分析
三、性能参数
|
项目 |
技术指标 |
|---|---|
|
*大允许误差(MPEE) |
0.5μm+L/500μm |
|
单轴重复性 |
≤0.3μm |
|
空间探测误差 |
小于等于0.8μm |
|
温度稳定性 |
±0.1℃/m |
|
*大测量速度 |
300mm/s |
四、典型应用
-
精密光学元件检测
-
可测量直径0.1mm的微型透镜曲率半径
-
非球面光学元件面形精度评价
-
自由曲面光学器件逆向工程
-
半导体制造领域
-
光刻机零部件形位公差检测
-
晶圆载具平面度测量
-
蚀刻模具三维轮廓分析
-
计量标准器检定
-
标准环规/塞规尺寸溯源
-
多齿分度台角度基准校准
-
激光干涉仪反射镜面形检测
五、服务支持
提供完整的计量解决方案，包含：
-
现场安装调试与CMM认证服务
-
年度精度校准与维护保养
-
操作人员专业培训课程
-
24小时远程技术支持