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  • 产品名称:日本MITUTOYO三次元测量机LEGEX匠模型

  • 产品型号:
  • 产品厂商:日本MITUOTOYO三丰
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简单介绍:
日本MITUTOYO三次元测量机LEGEX匠模型是致敬传统精密工艺的三次元测量机,每台均由*匠人手工装配调校。在标准LEGEX纳米级测量平台基础上,采用特选航空级材料框架,经过120天自然应力释放和手工研磨,实现±0.3μm/1000mm的超稳定测量精度。
详情介绍:


LEGEX系列(匠模型).jpg

技术革新:纳米级精度的再突破

LEGEX匠系列在标准LEGEX平台基础上进行了多方位升级,其核心测量系统采用三丰*新研发的M-ULTRA Pro控制单元,搭配分辨率达1nm的超精细光栅尺。"双闭环"温控系统通过32个温度传感器实时监控设备状态,配合主动补偿算法,将温度漂移影响控制在±0.1μm/℃以内。测量范围覆盖500×800×600mm的标准工作空间,在20±0.3℃恒温环境下,空间测量精度可达(1.2+L/400)μm(L为测量长度,单位:mm),较普通工业机型提升近40%。

匠艺细节:手工调校的艺术

每台LEGEX匠系列需经过三道核心手工工序:首先由20年资历的匠人进行基础框架的应力释放调校,采用传统"叩き調整"技法,通过专用铜锤的轻微敲击消除内部应力;其次进行为期90天的自然时效处理,在特制恒温室中完成材料稳定;*后实施光学平面镜手工研磨,确保导轨平面度≤0.3μm/100mm。关键部位的56颗紧固螺钉均采用特制铍铜合金,经手工扭矩校准至0.02N·m精度。设备底部的紫铜铭牌刻有匠人亲笔签名和调校日期,成为身份标识。

应用价值:精密制造的方案

在半导体晶圆检测领域,某客户使用LEGEX匠系列成功将300mm晶圆的平面度测量重复性提升至0.15μm,助力5nm制程工艺研发。光学元件制造商利用其亚微米级扫描功能,实现了自由曲面透镜0.2μmPV值的高效检测。手工红宝石测头系统,在测量高反光金属表面时展现出的稳定性,某航天企业用其完成涡轮叶片榫槽0.5μm级轮廓检测。随设备附赠的匠艺传承手册,详细记录每道工序的技术要点,既是使用指南,更是精密制造的文化载体。




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