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  • 产品名称:日本MITUTOYO超高精度CNC三次元测量机LEGEX

  • 产品型号:
  • 产品厂商:日本MITUOTOYO三丰
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简单介绍:
日本MITUTOYO超高精度CNC三次元测量机LEGEX重新定义了纳米级工业测量的新标准。该系列采用的主动隔振系统和多轴温度补偿技术,在恒温实验室环境下可实现±0.5μm/1000mm的测量精度,重复测量精度达±0.3μm。**的LEGEX框架结构配合纳米级分辨率光栅尺,为半导体、光学元件等超精密制造领域提供可靠的测量保障。
详情介绍:


日本MITUTOYO超高精度CNC三次元测量机LEGEX

日本三丰LEGEX系列超高精度CNC三次元测量机代表着当今工业测量技术的强力之作,专为满足纳米级精密测量需求而设计。该产品采用了多项突破性技术,在测量精度、环境适应性和智能化程度方面都树立了行业新标准。

核心技术LEGEX系列显著的技术突破在于其测量系统架构。采用三丰的"超稳定框架设计",通过复合碳纤维材料和特殊合金的优化组合,实现了之前没有过的结构稳定性。测量系统搭载纳米级分辨率的光栅尺,分辨率达到0.01μm,配合高刚性气浮导轨,确保了测量过程中的**平稳性。**的主动隔振系统可以实时监测并抵消环境振动,即使在普通车间环境下也能保持稳定的测量性能。

环境控制系统为达到纳米级测量精度,LEGEX系列配备了完善的环境控制系统。包括:

  1. 多区域温度补偿系统:采用16点温度传感器网络,实时监测设备各部位温度变化

  2. 主动恒温系统:内置精密温控装置,可将设备核心区域温度波动控制在±0.1℃范围内

  3. 气流管理系统:设计的层流系统,有效隔离外界气流干扰

智能测量系统LEGEX系列搭载三丰*新研发的M-ULTRA智能控制系统,具有以下特点:

  • 支持5轴联动纳米级测量

  • 自动测头识别与校准功能

  • 智能路径规划算法

  • 实时误差补偿技术

应用领域该系列产品主要服务于以下制造领域:

  1. 半导体制造:晶圆检测、光刻机零部件测量

  2. 精密光学:透镜、棱镜等光学元件检测

  3. 航空航天:发动机叶片、精密结构件测量

  4. 医疗器械:人工关节、精密手术器械检测

服务支持三丰为LEGEX系列提供的技术支持:

  • 专业实验室环境评估

  • 定制化测量方案设计

  • 定期精度认证服务

  • 专属技术团队支持

LEGEX系列不仅是一台测量设备,更是推动制造业向纳米级精度迈进的关键工具,为制造领域提供了可靠的质控保障。




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