
主营:
视觉检测/UV固化光源、液体自动化控制设备、防静电系统/部品、进口环境检测仪、工业测量仪器仪表

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产品详情
简单介绍:
这是一种光谱膜厚监测监视器,利用单色光来监测气相沉积过程中基材上光强度的变化。本公司自产的蒸镀装置也使用该装置,是凝聚了蒸镀部件制造商的专业技术的膜厚监视装置
详情介绍:
概述
波长范围广
以前的型号使用滤光片式波长选择方法,但新产品采用了我们经过验证的光谱仪,可以选择任何波长。
膜厚变化信号由电压输出变为与计算机兼容的数字输出,控制机构由手动操作变为利用计算机指令控制。此外,由于可以通过I/F直接连接到计算机来控制膜厚计,因此不需要像其他制造商那样使用控制器,使其成为极其紧凑的系统。
特征
- 紧凑型设计,内置光谱仪
- 提高抗噪性,实现高度可靠的膜厚监测(静电放电试验耐压±5kV)
- 可通过PC命令自动控制
- 通过将控制器集成到接收器主体中,实现了高性价比。
主机配置及接线

产品概要
连接到气相沉积设备以监测薄膜厚度。
可以如右图所示进行安装。

反思性监视

透明监控
(弯曲泛光灯)

透明监控
(直连泛光灯)
商品构成
接收者

泛光灯

电源箱

凸起法兰
*包含在反光镜盒中

反光镜盒

透明镜盒

产品规格
模型 | OMD-1000 |
光谱仪类型 | 车尔尼·特纳型单单色 |
波长范围 |
保证范围:380-900nm 可操作范围:350-1100nm |
波长分辨率 |
狭缝 0.5mm: 4.2nm [546nm] 狭缝 1.0mm: 8.3nm [546nm] |
波长精度 | ±1.0nm |
*小波长馈电 | 0.1纳米 |
外部控制 | RS232C |
外部输出端子 | DC0~2V(满量程) |
采样间隔 | 100ms以上 |
静电放电测试耐压 | ±5kV(实际8kV) |
光源 | 12V100W卤素灯 |
光强稳定性 | ±0.1%/h以下 |
输入电压 | 交流100V 50/60Hz |
允许输入电压 | 交流85~132V |
视在功率 | 340VA以下 |
使用环境 |
温度:10-35℃ 湿度:20-80% |
产品留言